標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)
關(guān)于《半導(dǎo)體用緩沖氧化蝕刻液》等3項(xiàng)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)的通知
各有關(guān)單位及專(zhuān)家：
由中國(guó)化工學(xué)會(huì)組織制定的《半導(dǎo)體用緩沖氧化蝕刻液》等3項(xiàng)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)已完成征求意見(jiàn)稿，現(xiàn)公開(kāi)征求意見(jiàn)。請(qǐng)于2026年4月2日之前將中國(guó)化工學(xué)會(huì)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)表（見(jiàn)附件4）以電子郵件的形式反饋至中國(guó)化工學(xué)會(huì)。
聯(lián)系人：楊越 電話：010-64455951 郵箱：yangy@ciesc.cn
附 件：
1. 《半導(dǎo)體用緩沖氧化蝕刻液》征求意見(jiàn)稿和編制說(shuō)明
2. 《工業(yè)用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副產(chǎn)次氯酸鈉》征求意見(jiàn)稿和編制說(shuō)明
3. 《工業(yè)用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副產(chǎn)氫氟酸》征求意見(jiàn)稿和編制說(shuō)明
4. 中國(guó)化工學(xué)會(huì)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)表
中國(guó)化工學(xué)會(huì)
2026年3月2日
附件1《半導(dǎo)體用緩沖氧化蝕刻液》編制說(shuō)明（征求意見(jiàn)稿）.pdf
附件1《半導(dǎo)體用緩沖氧化蝕刻液》征求意見(jiàn)稿.pdf
附件2《工業(yè)用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副產(chǎn)次氯酸鈉》編制說(shuō)明（征求意見(jiàn)稿）.pdf
附件2《工業(yè)用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副產(chǎn)次氯酸鈉》征求意見(jiàn)稿.pdf
附件3《工業(yè)用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副產(chǎn)氫氟酸》(征求意見(jiàn)稿)編制說(shuō)明.pdf
附件3《工業(yè)用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副產(chǎn)氫氟酸》征求意見(jiàn)稿.pdf
關(guān)于《半導(dǎo)體用緩沖氧化蝕刻液》等3項(xiàng)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)的通知_蓋章.pdf
